半导体工厂应用

半导体工厂应用

半导体厂房相较于其他工业类厂房，主要特殊之处在于其洁净等级要求高，光刻机、等离子注入机等精密设备的电源质量和电压等级要求高。在半导体工厂中，柴油发电机可以为生产线提供稳定的供电，确保生产任务的顺利完成。在突发停电情况下，柴油发电机还可以作为应急照明和生产设备的主要电源。

而其电气系统同样包括供配电系统、电气控制与保护、照明及检修插座系统、防雷接地系统、火灾自动报警及综合布线系统等，其特殊之处在于供电系统部分，半导体厂房由于设备的特殊性，断电会造成巨大的损失，所以其供电可靠性要求较一般厂房更高，因此在兼顾经济性的同时，其供电系统的复杂性与庞大程度需要投入更多的关注与思考。

∎案例项目工程概况

○ 案例一

主要建筑内容包含一幢5层FAB厂房，一幢5层CUP厂房，一幢3层WWT厂房，一幢9层研发综合办公楼及其他配套小栋号单体建筑。项目分两期进行，其中一期又分为2个阶段投产，总规划产能为月产芯片2万片，第一阶段计划月产4千片。项目总用电设备容量超116.7 MVA，项目电压有220 kV、20 kV、10 kV、480 V、380 V、208 V多种等级，涵盖高、中、低电压等级。

○ 案例二

主要建筑内容包含一幢3层FAB厂房，一幢1层CUP厂房，6层综合办公楼及其他配套小栋号单体建筑，为月产1.5万片芯片制造厂房。工程总用电设备容量超126.4 MVA，项目涉及电压等级包括110 kV、10 kV、480 V、380 V、208 V。

∎柴油发电机容量计算

芯片厂房一旦断电会造成巨大损失，同时对电压暂降和闪断也非常敏感，所以厂房内一些特别重要负荷对供电可靠性及持续性要求很高，两个案例对于此部分负荷都采用了柴油发电机供电的方式。

案例一、二的一级负荷中特别重要的负荷总容量分别为14 800 kW和21 800 kW，需要柴油发电机作为应急电源保证供电，柴油发电机组容量考虑实际使用情况依据工作电源所带全部容量或一级、二级负荷容量可得，结果如表2所示，满足总容量大于特别重要负荷所需容量。

表1  柴油发电机实际使用情况统计